（2）采用除海盐粒子过滤器。沿海岸地区空气中含盐量较多，台风等强风作用下会更高。这种状况对微电子工厂极为不利。现在有两种措施：1)所采用的滤材即使在大量盐分附着后不容易析出；2)在空调箱进入段处先设喷水段及档水板，可先捕集90％的海盐粒子，再经普通的空气过滤器清除未被捕集的粒子。喷雾用水应直接排放出，不予回收。对于临海设置的微电子工厂在空调净化装置中应予考虑。
（3）采用新型空气吹淋室。传统的吹淋室对人体吹淋停止后，风力发电专用过滤器
（4）用传统的喷水室湿式处理空气法来处理新风中的化学物质。近几年来许多国家开展了很多研究证明了其有效性。
（5）采用UV光电子空气净化方法。这种方法不同于普通的静电过滤器。该方法利用将紫外线照射在金属膜层上产生的光电效应，在空气中产生电子和负离子使流经的污染物质荷电并被集尘极捕集(图1所示)。目前在有限的小空间范围内已有应用。
（6）采用有杀菌作用的HEPA过滤器(杀菌酵素过滤嚣)。高效空气过滤器过去采用金属离子的毒性来杀菌，如银型阳高于交换纤维制成的空气过滤器，现今可采用从生物体中提取的天然酵素将细菌的细胞壁溶解以达到杀菌的目的，是一种安全的灭菌措施，它防止了过滤器上微生物增殖所产生的二次污染。
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