1级洁净室在工程中的应用-风淋室,风淋门,吹淋室生产厂家经过三年时间的连续运行考验说明系统运行正常， 性能可靠， 各项指标满足工艺要求， 为研制开发线创造了良好的环境条件，新风经过新风机组处理(粗效过滤器、中效过滤器、冷却、加热)送人循环空调机组I风量6万mⅥ )。空调器内设置粗效过滤器、中效过滤器、亚高效过滤器及冷却、加热盘管。空气经过循环机组处理后送人消声静压箱．再进^ 超高效静压箱内， 经过下部满布的超高效空气过滤器进人房间，超高教过滤器满布率达87％ ，使工作面形成垂直单向流。回风经舫静电格栅地板进人两边设置的回风夹墙回至循环机组。为我国自行研制和施工大面积高级别洁净室打下了基础。现将该工程有关的设计安装及其主要设施作一简要介绍。
工艺要求的主要技术指标
1级洁净室主要技术指标
面积 温度 相对湿度 噪声
序号 工序名称 洁净度 备注
(113 ) (。c) (％) dB (A}
1级C目标值)
1 光刻问 56 22±2 45~10 <65
10缎(工艺要求)
2 干{击刻蚀间 56 56 1000级 23~3 50±10 <65
3 清洗间 56 56 1000教 23~3 50：l：l0 <65
4 离子注^ 间 57 6 1000级 ∞ 士3 50~l0 <65
5 薄膜工艺间 84 1000级 23~3 50：：e10 <65
6 中测间 55 5 1000级 23~3 50~10 <65
7 工作通道 49 4 1000级 i 23~3 50：：e10 <65
8 跫备维修区 284 7 1万级 22～28 50~10 <65
9 更表间 49 3 10万级 22-28 50±10 <
1级洁净室工艺布局
【1 J在现有条件下，工艺布置成隧道式结掏。把级别要求最高的光刻间布置在靠近空调机房而远离人流。避免了由于^ 员流动带来的空气污染
2)把工艺设备需要维修的部位l布置在维修区． 井把维修医作为回风夹道， 便于设备维修 同时． 所有的超纯水管道．冷却水管道， 压缩空气管道， 真空管．下水管． 局部排风管道， 动力配电箱， 气瓶柜， 动力线等都布置在维修区。这样．不但维护管理方便． 而且工作间几乎看不到什么管道和电线 使工作问简洁明快，舒适美观
{3 J工艺设备布置， 既便于操作和流水作业．又比较紧凑．井留出适当场地 以便增加必要的工艺设备，满足今后小批量生产的能力
f4)设备搬运及参观人员、设备维修人员从维修通道进^ ．而不致于影响正常的科研和生产
1级洁净室的自动控制
设计采用了DDC 控制系统， 控制灵活、性能可靠 同时还设置了在特殊情况下的软件程序． 如无热水情况． 热水供应不足的情况 冷冻水温度达 到设计要求和冷量供应不足的情况等都可以通过控制系统来自动词节各个阀门开大或美小．这样就不致于使房间温湿度波动太大．影响产品质量和成品率。三年来．系统运行平稳、可靠，没有出现故障
1级洁净室测试效果
71 光刻间断面风速测试值见表4。
2 微正压测试f略J
3 洁净度测试：
(1)测试仪器：美国MPs公司产LAsAIRlOI型激光粒子计数器， 流量0l~／min，测试粒径0I、0 2、0．3、0．4、0．5、0．7、1．0、2．0~m共8档计数， 自动打印(2)测试方法： 按美国联邦标准209E及国家标准~GBJ73—84洁净厂房设计规范》附录二进行
(3)测试环境： 室内断面平均风速为0．32r~s、室内正压比工作通道高20 ， 测试时．有5-6^在测点的下风侧f4】测点高度：1．3mf5】测点布置(略)， 每个点测4次，第一次由于移动测点束作统计， 只统计后面3次，其测36个 。采样量为O．1m ， 以0 1岬粒子为计算对象(整理后见表5)
(6 J计算平均值：
对于≤01岬粒子M： f3．33+13．33+26．67+13．33)／36=1．57(粒／∽
1级洁净室的空调净化
(1 J光刻间设计成独立空调净化系统。新风机组为2万mVh风量 设变频调速装置 供光刻问和1000级房间使用 新风经过新风机组处理(粗效过滤器、中效过滤器、冷却、加热)送人循环空调机组I风量6万mⅥ )。空调器内设置粗效过滤器、中效过滤器、亚高效过滤器及冷却、加热盘管。空气经过循环机组处理后送人消声静压箱．再进^ 超高效静压箱内， 经过下部满布的超高效空气过滤器进人房间，超高教过滤器满布率达87％ ，使工作面形成垂直单向流。回风经舫静电格栅地板进人两边设置的回风夹墙回至循环机组。
(21静压箱及光刻间四周壁板作成一个整体， 均采用岩棉彩色保温壁板。由于原建筑层高受到限制，粱下净高只有4 2m， 因此设计静压箱高度为O．7m． 工作间层高24m， 防静电格栅地板离地面0．4m。
(3)满布超高效过滤器的液槽密封装置， 为铝台金专用型材． 根据过螅器尺寸把型材组合成液槽密封框架， L部灌满特种密封液 下部可装泪珠型净化日光灯和火灾报警探头。
c4)所使用的特种密封液是种非牛顿液体，无毒．无味， 挥发，60℃ 上为固体状态 60℃ 以下为液体状态。液槽密封框架与特种密封液配合使用，确保框架与壁板 框架与框架．框架与过螅器边框之间严密不渗漏 这种结掏形工． 高教过滤器安装极为方便，不需检漏和堵漏．避免了过去高技过滤器采用机械压紧方式而带来的密封不严．安装费时、费力等诸多缺路 特别适
用于高洁净度、大面积垂直单向流洁净室
0．1lam无隔板超高效空气过滤器
1级洁净室所采用的0．1p．m 无隔板超高效空气过滤器共66台． 其中外形尺寸为I200~610mm 的60台．外形尺寸为940x6l0mm 的6台 E标准)，滤纸折叠高度为85ram， 这就最大限度地增加了滤纸面积．加大丁处理风量， 降低r结构阻力， 提高r过滤器的过滤效率 其主要技术性能见表2。采2 o 1岬 无隔板超矗效空气过滤曩性能
型号 GB一2O00
外形足寸(nun】 l200×6l0~90
额定风量(m~／h) l4O0 2f)00
栅阻力(Pa) 】30 l86
过滤效率(％)
9999998 9999996
(对于 0 12p,m粒子)
往 过滤器高度为90mm 加 周边刀架90mm后为180ram：从上表中可以看出 本过滤器的显著特点是风量大、阻力低、效率高
安装在1级洁净室中平均每台过滤器所通过的风量为910m3／h， 过滤器的面风速为0．32m／s 通过过滤器的阻力只有80P日左右．这样可以节约能源， 降低噪声， 同时也延长了超高效过螅器的使用寿命。国内外有代表性的过滤器性能见表3
结论
1级洁净室在工程中的应用-风淋室,风淋门,吹淋室生产厂家56 共删36点， 其中有31个测点0．I m一2．0 m， 8挡计数全部为0。其它5个测点0l m～0．3 m 出现粒子计数， 第25点0．1 m最大计数为2667粒／竹 因此．洁净度等级按美国联邦标准209E达到l1级水平，按我国《洁净厂房设计规范》的修订版l部裹4 光刻间断面风速荫试值cm／s)
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